探針測量是通過監測精密探針劃過薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。

KOSAKA 臺階儀（探針臺）具有以下特點：

二維／三維表面粗度解析及臺階測定，可實現高精度、高辨識能力及*的安全性。

用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細形狀臺階／粗度測定另外也可利用微小測定力來對應軟質樣品表面測定。

具備載物臺旋轉功能，便于定位下針位置。

高精度 • 高穩定性 • 功能超群。

FPD 基板 • 硅片 • 硬盤等

微細形狀、段差、粗糙度等測量。

KOSAKA ET4000系列臺階儀提供多型號選擇，滿足從研發到量產的多種測量需求：ET4000M適用于高精度基礎測量，ET4000A實現全自動操作，ET4000AK支持二維/三維自動掃描與表面形貌重建，ET4000L可應對大尺寸FPD基板，ET4300則專為12英寸晶圓全行程連續測定設計。
全系列垂直分辨率可達≤0.1 nm，臺階高度重復性優于5 Å，探針力可低至μN級，適用于光刻膠、柔性薄膜等軟質材料。水平掃描范圍與載物臺尺寸根據型號靈活配置，支持自動多點測量、Mapping輸出及SEMI標準兼容的分析軟件。
在服務方面，我們提供探針耗材供應、定期校準、技術培訓及快速售后響應，并可依據您的樣品與應用場景，提供詳細技術規格書、樣品實測或在線演示支持，歡迎咨詢了解。